【“芯”知肚明 行业观察】台积电又买了13台EUV光刻机？

在今年早些时候，台积电表示，公司已在全球范围内部署并运行了大约50％的所有极紫外（EUV）光刻工具，这意味着该公司使用的EUV机器比业内任何其他公司都要多。而根据Digitimes最近的一份报告，为了保持领先地位，台积电已经订购了超过十二台ASML的Twinscan NXE EUV光刻机，并将于明年交付。

订购了13款EUV工具，还需要更多

DigiTimes 援引未披露的工业消息以及还具有EUV层的N5P流程。

台积电对EUV工具的需求随着其技术变得越来越复杂并采用了需要使用极紫外光刻工具进行处理的更多层而不断增加。台积电的N7 +最多使用四层EUV，以减少制造高度复杂的电路时多图案技术的使用。

根据ASML的数据，从2018年至2019年，每月每开始生产约45,000 ( 点击阅读全文 )

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